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所謂“單室,多片玻璃襯底制造技術(shù)”就是指在一個(gè)真空室內(nèi),完成P、I、N三層非晶硅的沉積方法。作為工業(yè)生產(chǎn)的設(shè)備,重點(diǎn)考慮生產(chǎn)效率問題,因此,工業(yè)生產(chǎn)用的“單室,多片玻璃襯底制造技術(shù)”的非晶硅沉積
責(zé)任編輯:趙卓然
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